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溶液成分下操作条件对于蚀刻速度的影响

  溶液成分夏操作条件对蚀刻速度的影响:溶液蚀刻,蚀刻注意事项
  (1)FeCL3浓度对蚀刻速度的影响:FeCL3蚀刻液中随FeCL3浓度的增高,蚀刻速度加快。当所含FeCL3超越某一浓度时,因为溶液黏度增加,蚀刻速度反而有所下降。关于选用抗蚀印料或抗蚀干膜的铜零件,浓度可控制在35。B6左右;选用液体光致抗蚀剂(如骨胶、聚乙烯醇等)的铜零件,浓度町拧制在42。B吾左右。通常情况下控制在350g/L一600吕/L为宦。Feel,溶液的浓度范嘟及质量分数和相对密度的联络。
  (2)盐酸的增加量对蚀刻速度的影响:在蚀刻液中参加盐酸,一则可以抑制Fecl3和cucl,的水解;二则可进步蚀刻速度。特别足当蚀刻液巾铡禽量到达37.4∥J.后+赫酸的效果愈加明显。但这应根据不同的抗蚀层资料选择适合的酸度,假如抗蚀层选用骨胶、明胶、聚乙烯醇等光致抗蚀剂,则不能选用太高的酸度,否则,抗蚀层易于被损坏。关于感光树脂抗蚀剂及丝网日J刷抗蚀层,则可以选择较高的酸度。
  (3)温度对蚀刻速度的影响:在hcl,蚀刻工艺中,随温度的增加,蚀刻速度亦加快,比方当温度在50℃时,全新蚀刻液对铜的蚀刻速度叮达10“nI/n-访:似在实践爿:产中,都是选用常温蚀刻办法。Fecl,对铜的蚀刻是一个放热反响,跟着蚀划的进行,蚀刻液温度会逐渐升高,蚀著4速凄加快。跟着FecL3的耗费,蚀刻速度也会下降。一同这一温升进程也比较缓慢,所以在整个蚀刻进程中蚀刻速度改变不大。
江门蚀刻加工
  (4)搅拌对蚀刻速度的影响:停止蚀刻的速度和蚀刻质量都是比较差的。这是风为在蚀刻进程中.一方面被蚀刻铜袁面和蚀刻液中都会有沉涟生成,影响了铜的正常蚀刻:另一方面,铜在蚀刻进程中,被蚀刻表面的溶液会逐渐呈现暗绿色,这表明在设蚀刻表面的Fec】,已跟铜发生了氧化复原反响而失掉r氧化才能。如但靠蚀刻液叶J n”的自身运动无法对被蚀刻表面的及时补偿,而使蚀刻速度变慢。这便是所说的浓差极化,即n“的运动速度跟不上Fe“被耗费的速度。
  假如对蚀刻液进行搅拌或选用喷淋等蚀刻办法,则可以加快Fe“的运动速度,使被蚀刻表面的Fe”能敏捷得到补偿,则能使蚀刻速度加快。如粜选用压缩空气搅拌不光能进步蚀刻速度进町以使蚀剡液得到在生,延伸蚀刻液的使用寿命。但是,需恰当补偿盐酸
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作者: fen

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